昆山市偉士力真空設(shè)備有限公司 |
Kunshan Weishi power vacuum equipment Co. Ltd. |
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真空泵從選購到使用過程中的注意事項
1.真空泵工作壓強范圍的選擇。
在選擇真空泵的類型時,需要考慮被抽真空室要達(dá)到的極限壓強和工作壓強。每種真空泵都有一定的工作壓強范圍。
2.真空泵大小的選擇 。
選擇真空泵的大小,就是確定真空泵的抽氣能力。真空泵大小的選擇主要根據(jù)兩點:
(1)根據(jù)被抽真空室工作時所需要的工作壓強和室內(nèi)的最大排氣流量來決定。每種泵都有其極限壓強和最佳抽速壓強范圍,真空室內(nèi)壓強要在泵的最佳抽速壓強范圍內(nèi)。
(2)根據(jù)真空室的大小和抽氣時間要求來選擇。 另外真空泵在其工作壓強下,應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。
有時候工作壓強由單獨一種真空泵并不能達(dá)到。此時需要正確地將不同的真空泵組合成為真空機組,以滿足工作要求。 例如半導(dǎo)體行業(yè)真空室體積較大,要求真空室內(nèi)工作環(huán)境清潔無油,抽氣時間盡量短、以提高工作效率。這時抽速為15~60立方米/小時(4~16升/秒) 的無油渦旋真空泵,可以與羅茨泵組成無油真空機組,達(dá)到接近600立方米/小時(150升/秒)的抽速,實現(xiàn)大抽速、清潔無油的目標(biāo),就能夠很好的滿足半 導(dǎo)體行業(yè)鍍膜生產(chǎn)線的要求。
3.考慮真空泵對周圍環(huán)境的影響。
如果工作場所周圍環(huán)境不允許有污染,紅外碳硫分析儀如潔凈室等,就要選擇無油真空泵。
4.考慮真空泵工作時產(chǎn)生的噪音與振動對工藝過程及環(huán)境的影響。